南大光电(300346)ArF光刻技术商品前不久取得成功根据

南大光电(300346)117日午间公告称，企业子公司宁波市南大光电(300346)原材料有限责任公司（下称“宁波市南大光电(300346)”）自主研发的ArF光刻技术商品前不久取得成功根据顾客的应用验证。

验证分析报告显示信息，本次验证选择顾客50nm闪存芯片商品中的控制栅开展认证，宁波市南大光电(300346)的ArF光刻技术商品各种特性考虑加工工艺规格型号规定，合格率结果合格。

南大光电(300346)表述，“ArF光刻技术产品研发和产业发展”是宁波市南大光电(300346)承揽国家“02重点”的一个关键科技攻关。本次产品质量认证的根据，意味着“ArF光刻技术产品研发和产业发展”新项目获得了至关重要的提升，变成中国根据商品认证的第一只国内ArF光刻技术，为多方位进行新项目目地确立了牢靠的基本。

依据企业先前公布的项目可行性刻苦钻研汇报，南大光电(300346)本次完成提升的为193nm 的ArF光刻技术。这类光刻技术能够用以生产制造28nm到7nm的工艺加工工艺，现阶段广泛运用于高端芯片制造，如逻辑性集成ic、AI集成ic、5G集成ic、大空间贮备器和云计算技术集成ic等，被称作半导体材料(512480)原材料工业生产的“血夜”。

依照先前方案，企业将做到年产量25吨193nm（ArF干试和浸入式）光刻技术商品的生产规模，以考虑集成电路芯片领域的要求。

材料显示信息，南大光电(300346)重要从业高纯度电子类材料产品研发、生产制造和市场销售，根据担负国家重特大技术性科技攻关并完成产业发展。现阶段，企业产生MO源、电子器件特种气体、光刻技术及配套设施原材料及其ALD/CVD前驱体原材料等业务流程版面。